커뮤니티 > 콜로퀴엄
글번호
196291
일 자
14.09.26 11:09:11
조회수
425
글쓴이
기영균
10/2 PLS와 application

물리 colloquium

 

 

-주제 : Structure characterization of ALD thin films by

 

X-ray scattering at Pohang Light Source

 

발 표 요 약 :

 

The PLS (Pohang Light Source) had constructed in 1994. PAL (Pohang Accelerator Laboratory) has been playing its role as the heart of Korean Science & Technology. Synchrotron Radiation facility is much useful tool for nano science; not only material science but life science, chemistry, nano technology, etc. PAL has been achieved remarkable progress during last twenty years operation. 30,326 users visited to do their 9,215 experiments by the end of 2013. And they publish about 400 SCI papers in a year. I report the X-ray scattering of Synchrotron radiation which allow us to investigate the atomic structure evolution of a few nanometer thickness films at the initial growth stage, nondestructively. Even for non-epitaxial, non-crystalline layers, X-ray Scattering method can reveals their morphologies. The measurement of the properties of interfacial layer is extremely important in process development and control for the next generation microelectronic devices. I will show you the recent results of XRR (X-Ray Reflectivity), DXRR & FA (Difference XRR & Fourier Analysis) for buried interfacial layers, and GIXRD (Grazing Incident XRD) for non-epitaxial thin films.

연 사 : 박 용 준 박사 (PAL 빔라인장치팀장 )

일 시 : 2014 10 02 ( 목요일 ) 오후 4 30

장 소 : 자연대 4 호관 215 호 강의실

 

광전자창의인력물리연구단

산학협력선도대학육성사업단

전 남 대 학 교 물 리 학 과

첨부파일첨부파일:
첨부파일이 없습니다.

rss

커뮤니티 > 콜로퀴엄 게시판 목록
번호 제목 작성자 작성일 조회수 파일
공지 9/10 융합물리콜로퀴엄 : 지극히 상대적인 학문, 물리학(온라인 강의) 물리학과 2020-09-10 -
공지 2020년 2학기 융합물리콜로퀴엄2 일정 물리학과 2020-08-28 -
17 4/2 융합물리콜로퀴움 강연 물리학과 2015-04-10 295 -
16 3/26 콜로퀴엄 공지 : 3차원 측정기술의 이해 물리학과 2015-03-20 716 -
15 물리콜로퀴엄 보고서 양식 물리학과 2015-03-20 733 파일아이콘
14 3/19 융합물리콜로퀴엄1(공지)_물리학과교수님 연구분야 소개2 물리학과 2015-03-18 726 -
13 3/12 융합물리콜로퀴엄1 공지-물리학과교수 연구분야소개1 물리학과 2015-03-10 847 -
12 2015년 1학기 융합물리콜로퀴엄1 일정 공지 물리학과 2015-03-09 821 -
11 12/04 (마지막) 좋아하는 일만 해라! 기영균 2014-11-28 1289 -
10 11/27 물리콜로퀴엄 -Hadron Physics with Strangeness 물리학과 2014-11-21 429 -
9 11/20 More is either Different or the Same : 복잡계의 보편성 물리학과 2014-11-14 394 -
8 존재감 있는 회사 생활을 위한 팁 물리학과 2014-11-14 497 -
7 11/06 [물리콜로퀴움] 주사위를 던지는 신 물리학과 2014-10-28 544 -
6 10/16 18세기 과학의 대중화와 과학 교양인의 출현 기영균 2014-10-10 444 -
5 10/2 PLS와 application 기영균 2014-09-26 424 -
4 9/25 CERN과 중이온 물리 실험 기영균 2014-09-19 511 -
3 9/18 우주, 별 그리고 인간 (장소:사회대별관11호) 물리학과 2014-09-12 425 -