물리colloquium

주제 : 저온 플라즈마와 반도체 공정

발 표 요 약 :

 플라즈마는 자연계에 존재하는 고체, 액체, 기체 이외의 상태인 '물질의 제4의 상태'로 알려져 있습니다. 물리학적으로 연구된 지 100년이 채 되지 않은 젊은 학문이라 할 수 있으며, 50년 전 핵융합 연구를 기점으로 본격적인 물리 연구의 르네상스가 시작되었습니다. 최근 30년 사이에는 플라즈마가 반도체, 디스플레이, 철강, 자동차, 의료, 의류 등 다양한 산업에 널리 활용되면서 다시 한번 '제2의 르네상스'를 맞이하고 있습니다. 플라즈마는 그 크기에 따라 1m급 이상의 대형 플라즈마에서 머리카락보다 가는 초소형 플라즈마까지, 압력에 따라 1 mTorr 이하의 저압 플라즈마에서 760 Torr의 상압 플라즈마까지 다양하게 나뉩니다. 각 플라즈마의 특성은 고유의 플라즈마 변수에 의해 결정되며, 이는 플라즈마를 발생시키는 전자가열 및 수송 메커니즘에 따라 크게 영향을 받는 것으로 알려져 있습니다. 본 발표에서는 물질의 제4의 상태인 플라즈마가 무엇이며 어떤 성질을 가지고 있는지, 특히 반도체 제조 공정에 어떻게 응용되는지를 소개하고자 합니다. 일반물리학을 이수한 이공계 대학생이라면 누구나 이해할 수 있도록 쉽게 구성하였습니다.

󰏠 연 사 : 유신재 교수 (충남대 물리학과)

󰏠 일 시 : 2026년 3월 26일(목요일) 오후 4시 30분

󰏢 장 소 : 자연대 4호관 215호(세미나실)

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